С помощью УЗ получите мелкодисперсное распыление воды, но дистиллирования никак. К тому же на пьезоэлемент лучше подавать дистиллированную воду, а не жесткую, это продлит его срок жизни.
То есть ультразвук разобьет воду на мельчайшие капельки, а не пар.